TY  - JOUR 
T1  - Characterization of Plasma-deposited a-C:H:Si:F:N Films
JO  - Materials Research
A1  - Lopes, Juliana Feletto Silveira Costa
A1  - de Oliveira Furquim, Felipe
A1  - Rangel, Elidiane Cipriano
A1  - Durrant, Steven F.
SN  - 1516-1439
UL  - 10.1590/1980-5373-MR-2021-0016
VL  - 24 
Y1  - 2021
PB  - Brasil 
ER  -