@article{bauerfeldt_arbilla_1998,  title={Modelagem dos processos químicos em plasmas de misturas gasosas usadas na corrosão de silício. Parte 2: SF6 / O2},  volume={21},  ISSN={0100-4042},  url={https://doi.org/10.1590/S0100-40421998000100006},  DOI={10.1590/S0100-40421998000100006},  number={1},  journal={Química Nova},  publisher={Sociedade Brasileira de Química},  author={Bauerfeldt, G. F. and Arbilla, G.},  year={1998},  month={Jan},  pages={34–42} }