TY  - JOUR 
T1  - Carbeto de Silício como Material Base para Sensores MEMS de Uso Aeroespacial: Uma Visão Geral
JO  - Matéria (Rio de Janeiro)
A1  - Fraga, M.A.
A1  - Pessoa, R. S.
A1  - Massi, M.
A1  - Maciel, H. S.
SN  - 1517-7076
UL  - 10.1590/S1517-70762014000300011
VL  - 19 
Y1  - 2014
PB  - Brasil 
ER  -