@article{fraga_pessoa_massi_maciel_2014,  title={Carbeto de Silício como Material Base para Sensores MEMS de Uso Aeroespacial: Uma Visão Geral},  volume={19},  ISSN={1517-7076},  url={https://doi.org/10.1590/S1517-70762014000300011},  DOI={10.1590/S1517-70762014000300011},  number={3},  journal={Matéria (Rio de Janeiro)},  publisher={Laboratório de Hidrogênio, Coppe - Universidade Federal do Rio de Janeiro, em cooperação com a Associação Brasileira do Hidrogênio, ABH2},  author={Fraga, M.A. and Pessoa, R. S. and Massi, M. and Maciel, H. S.},  year={2014},  month={Jul},  pages={274–290} }